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    钛靶块

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    钛靶块

    发布时间:2018-05-21  浏览:917次  字号:  

     

    钛靶块

    一、牌号

     国内牌号:TA1、TA2       

     美标牌号:GR1、GR2

    二、靶材的主要性能要求:

    (1)纯度

    TA1纯钛靶块的纯度是钛靶块厂家的主要性能指标之一,因为钛靶款的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。

    (2)杂质含量

    靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

    三、规格

    Φ100*40,Φ98*40,Φ95*45,Φ90*40,Φ85*35,Φ65*40较常见,其他规格可按客户要求制作。

    四、执行标准

    国标:GB/T 16598,GB/T2965 。
     
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